几类金属材料适合进行真空阳极氧化处理：
铝及铝合金：
铝是常见且广泛应用真空阳极氧化处理的金属。铝在自然环境中表面会自然形成氧化膜薄层，但这种自然氧化膜的防腐、耐磨等性能相对较差。通过真空阳极氧化处理，可以在铝及其合金工件表面生成一层与基体结合牢固、厚度和性能更优的氧化铝膜。这层氧化膜不仅能提高铝制品的耐腐蚀性，在硫酸硬质阳极氧化条件下，其抗腐蚀的稳定性比用其他方法得到的高数十倍；还能增强耐磨性，在润滑条件下，氧化膜的多孔性可吸附并存留润滑油，改善摩擦条件；并且可以进行着色处理，获得各种色彩，满足不同的装饰需求。
镁及镁合金：
镁合金是金属材料中轻的，具有比强度高等优点，在航空航天、电子设备等领域应用广泛。但镁合金的耐腐蚀性较差，容易发生腐蚀，特别是异种金属接触腐蚀和点蚀，所以需要进行表面处理来提高其耐腐蚀性。真空阳极氧化处理可以在镁合金表面形成一层均匀、致密的氧化膜，有效阻挡外界腐蚀介质，提高其耐蚀性和耐磨性，改善其表面性能。
钛及钛合金：
钛及钛合金具有高强度、低密度、良好的耐腐蚀性等优异性能，在航空航天、医疗器械、化工等领域有着重要的应用。通过真空阳极氧化处理，可以在钛及钛合金表面形成一层具有干涉性的氧化钛发色薄膜，不仅能提高其装饰性，使颜色鲜亮匀称，还能进一步增强其耐磨性和耐腐蚀性。而且这种氧化膜具有良好的生物相容性，在生物医学领域也有广泛的应用前景。
钽：
钽是一种稀有金属，具有高熔点、高强度、良好的耐腐蚀性等特点。真空阳极氧化处理可以在钽表面形成一层稳定的氧化膜，进一步提高其耐腐蚀性和绝缘性，使其在电子、化工等领域的应用更加可靠。